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灯饰照明

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刻蚀时间较长(10~30min)时间:2019-09-03 22:06 浏览次数:

  地宝网照明灯具该刻蚀机由工艺腔、传输腔、气体控制盒、射频系统、真空系统、温控系统以及装载模块(选配)等部分组成。其中上下电极采用13.56MHz、1500W射频功率,托盘尺寸为330mm,PSS刻蚀使用Al托盘,上面覆盖石英盖板,可装载22片2英寸蓝宝石衬底片。LED刻蚀深度较深,刻蚀速率较慢,刻蚀时间较长(10~30min),考虑到PR的挥发、刻蚀均匀性以及刻蚀过程中等离子体轰击产生的热量去除,对下电极散热能力要求较高,工艺中基座温度一般设置为-10~-20℃。LED刻蚀副产物的沸点较高,很难被去除,所以LED刻蚀设备的腔室及内衬需要加热,以减少刻蚀副产物的沉积。

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